Фотолитографический метод создания тонкопленочных ВТСП структур: Лабораторный практикум
Сычев С.А., Серопян Г.М., Позыгун И.С., Семочкин В.В.
Материал соответствует Государственному образовательному стандарту по специальности 010400 ''Физика''. Даются представления о фотолитографическом методе создания тонкопленочных структур с использованием метода сухого травления и, в частности, микроструктур из тонких ВТСП пленок для изготовления элементов сверхпроводящей криоэлектроники. Может быть использован студентами других специальностей
Kategori:
Tahun:
2004
Penerbit:
Изд-во ОмГУ
Bahasa:
russian
Halaman:
14
File:
PDF, 267 KB
IPFS:
,
russian, 2004
Litres
Ingin menambahkan toko buku? Hubungi kami melalui support@z-lib.do
Konversi file
Lebih banyak hasil pencarian
Manfaat yang lain 
Istilah kunci
Daftar buku terkait
